- 두께 0.1㎛ 영역의박막특성
  (경도. 부착력.Young율. 내부응력) 을1대로 측정가능
- 경도 측정은 비커스 경도로 환산
- 부착력 측정은 JIS R3255 의 규정인
  Micro tension법에 준함
- 3Point 굽힘 시험측정법에 의하므로 정도 좋은
  Young율을 구할 수 있습니다.
- 시료의 휨량으로부터 내부응력을 구할 수 있습니다.

- 하중범위 : 0.98μN ~ 98mN
  (하중검출분해능 : 0.098μN)
- 압자 측정범위 : 0 ~ 5 ㎛
  (변위검출분해능 : 4nm
- 압자 : 대칭각80˚ 삼각압자
- X-Y축 이동거리 : ±5mm
- 시료크기 : 20 X 20 mm
- 시료무게 : 30g
- 사용조건 : 10~35℃ 습도 20~80%

- 고집적화에 의한 반도체소자의 신뢰성 평가
- 플라스틱 렌즈 보호막
- 자기 Disk, 광 Disk 등의 소재 연구
- 각종 폴리머 다층막
- LCD등의 Display관련 Device
- 각종 Tape 소재
- Glass상의 각종 Coating막